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作者
K. Chen,
Matthew Nielsen,
G.‐R. Yang,
Eugene J. Rymaszewski,
Toh‐Ming Lu
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Nature]
日期:1997-04-01
卷期号:26 (4): 397-401
被引量:22
标识
DOI:10.1007/s11664-997-0109-5
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