Preparation of microcrystalline silicon seed-layers with defined structural properties

材料科学 微晶 同质性(统计学) 无定形固体 硅烷 成核 化学气相沉积 化学工程 薄膜 等离子体增强化学气相沉积 稀释 非晶硅 分析化学(期刊) 纳米技术 复合材料 晶体硅 光电子学 化学 结晶学 计算机科学 色谱法 物理 有机化学 机器学习 工程类 热力学
作者
O. Vetterl,Markus Hülsbeck,Johannes Wolff,R. Carius,F. Finger
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:427 (1-2): 46-50 被引量:27
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(02)01237-3

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
Jasper应助科研通管家采纳,获得10
刚刚
刚刚
Lucas应助科研通管家采纳,获得10
刚刚
刚刚
2秒前
TK发布了新的文献求助10
3秒前
5秒前
zengyangyu发布了新的文献求助10
5秒前
Lucas应助穆振家采纳,获得10
5秒前
wanci应助wang688163采纳,获得30
6秒前
mengtian应助mint采纳,获得10
6秒前
achenghn完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
zyb完成签到,获得积分20
9秒前
achenghn发布了新的文献求助10
11秒前
13秒前
13秒前
zyb发布了新的文献求助10
13秒前
科研通AI2S应助一菩提采纳,获得10
14秒前
14秒前
16秒前
七七雨后发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
清风驳回了英姑应助
18秒前
拽住小时候完成签到,获得积分10
19秒前
ding应助北风歌采纳,获得10
21秒前
TK完成签到,获得积分20
25秒前
25秒前
彤彤完成签到,获得积分10
26秒前
达斯维完成签到,获得积分10
28秒前
28秒前
娴娴超爱笑完成签到,获得积分10
28秒前
Akim应助踏实的酸奶采纳,获得10
30秒前
xuulanni发布了新的文献求助10
31秒前
32秒前
sunshine完成签到 ,获得积分10
32秒前
七七雨后完成签到,获得积分10
33秒前
33秒前
白学长应助343386625采纳,获得10
35秒前
高分求助中
Востребованный временем 2500
Agaricales of New Zealand 1: Pluteaceae - Entolomataceae 1040
지식생태학: 생태학, 죽은 지식을 깨우다 600
海南省蛇咬伤流行病学特征与预后影响因素分析 500
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 500
ランス多機能化技術による溶鋼脱ガス処理の高効率化の研究 500
Relativism, Conceptual Schemes, and Categorical Frameworks 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 材料科学 生物 工程类 有机化学 生物化学 纳米技术 内科学 物理 化学工程 计算机科学 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 电极
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3462526
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3056054
关于积分的说明 9050624
捐赠科研通 2745705
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1506521
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 696165
邀请新用户注册赠送积分活动 695677