Preparation of microcrystalline silicon seed-layers with defined structural properties

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作者
O. Vetterl,Markus Hülsbeck,Johannes Wolff,R. Carius,F. Finger
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:427 (1-2): 46-50 被引量:27
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(02)01237-3

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