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Resonance frequency analysis of a dual-frequency capacitive micromechanical ultrasonic transducer for detecting high and low pressures simultaneously with high sensitivity and linearity

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作者
Xiaoli Zhang,Lu Yu,Qing Guo,Dachao Li,Hui Zhang,Haixia Yu
出处
期刊:Journal of Physics D [Institute of Physics]
卷期号:53 (3): 035401-035401 被引量:13
标识
DOI:10.1088/1361-6463/ab4e60
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