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The role of Ar plasma treatment in generating oxygen vacancies in indium tin oxide thin films prepared by the sol-gel process

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作者
Deuk-Kyu Hwang,Mrinmoy Misra,Ye-Eun Lee,Sung-Doo Baek,Jae-Min Myoung,Tae Il Lee
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2017-02-09 卷期号：405: 344-349 被引量：51
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.02.007
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