Comparison of anisotropic etching properties between KOH and TMAH solutions

蚀刻(微加工) 材料科学 各向异性 反应离子刻蚀 Crystal(编程语言) 活化能 干法蚀刻 表面能 分析化学(期刊) 各向同性腐蚀 化学 纳米技术 复合材料 光电子学 光学 色谱法 物理化学 物理 计算机科学 程序设计语言 图层(电子)
作者
Mitsuhiro Shikida,Kazuo Sato,Kenji Tokoro,Daisuke Uchikawa
出处
期刊:International Conference on Micro Electro Mechanical Systems 被引量:15
标识
DOI:10.1109/memsys.1999.746845
摘要

We compared the anisotropic etching properties of KOH and TMAH solutions. We used hemispherical specimens of single-crystal silicon on where surface whole crystallographic orientations appeared, in order to evaluate the etching properties as a function of the orientations. We carried out a series of the experiments using different concentrations of two etchants and different etching temperatures. The dependence of the etching rates on the orientation of the surface crystals significantly differed between the two etchants, in particular at orientations of (111) and (221) planes. We concluded that the two etchants have different etching mechanisms at least around these two plane orientations. The etching rates depended on the concentration of the etchants and the etching temperature. The concentration levels that maximize the etching rate were 25 wt.% for KOH and 20 wt.% for TMAH. The activation energy of the two etchants was about 0.6 eV. The effects of etchant circulation on the etching rates were significant in TMAH but not in KOH solution.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
Singularity应助HouShipeng采纳,获得10
刚刚
FashionBoy应助HouShipeng采纳,获得10
1秒前
张湖关注了科研通微信公众号
1秒前
1秒前
小小完成签到,获得积分10
2秒前
七月完成签到,获得积分10
3秒前
ccx完成签到,获得积分10
3秒前
tyruyoiup发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
6秒前
linda发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
orixero应助文艺的碧曼采纳,获得10
7秒前
。。发布了新的文献求助10
7秒前
迷人猕猴桃完成签到 ,获得积分10
7秒前
8秒前
siyuyu发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
CY发布了新的文献求助10
10秒前
郑zhenglanyou完成签到 ,获得积分10
11秒前
11秒前
lili完成签到,获得积分10
11秒前
wen_dai完成签到,获得积分10
12秒前
公孙玲珑完成签到,获得积分10
14秒前
科研通AI2S应助小范同学采纳,获得10
15秒前
15秒前
pyc发布了新的文献求助10
16秒前
仁谷居士发布了新的文献求助10
16秒前
lv828完成签到,获得积分10
16秒前
善学以致用应助zxj采纳,获得10
17秒前
隐形曼青应助PatrickWu采纳,获得10
18秒前
Bob发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
19秒前
Ayu完成签到,获得积分10
19秒前
19秒前
tyruyoiup完成签到,获得积分10
19秒前
英俊的铭应助royan2采纳,获得10
19秒前
20秒前
高分求助中
좌파는 어떻게 좌파가 됐나:한국 급진노동운동의 형성과 궤적 2500
Sustainability in Tides Chemistry 1500
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
CLSI EP47 Evaluation of Reagent Carryover Effects on Test Results, 1st Edition 800
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 799
Livre et militantisme : La Cité éditeur 1958-1967 500
Retention of title in secured transactions law from a creditor's perspective: A comparative analysis of selected (non-)functional approaches 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3054296
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2711314
关于积分的说明 7425526
捐赠科研通 2355866
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1247387
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 606407
版权声明 596048