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作者
Feng Wang,Xiaofang Qin,Dongdong Zhu,Yanfeng Meng,Lixia Yang,Lixiang Sun,Yongfei Ming
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2014-02-21 卷期号：29: 155-160 被引量：28
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.02.007
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