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作者
Feng Wang,
Xiaofang Qin,
Dongdong Zhu,
Yanfeng Meng,
Lixia Yang,
Lixiang Sun,
Yongfei Ming
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2014-02-21
卷期号：29: 155-160
被引量：28
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.02.007
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