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Thin film synthesis and properties of copper nitride, a metastable semiconductor

材料科学 亚稳态 半导体 铜 氮化物 薄膜 光电子学 纳米技术 化学工程 冶金 化学 图层（电子） 有机化学 工程类
作者
Christopher M. Caskey,Ryan M. Richards,David S. Ginley,Andriy Zakutayev
出处
期刊：Materials horizons [The Royal Society of Chemistry]
日期：2014-01-01 卷期号：1 (4): 424-430 被引量：127
标识
DOI：10.1039/c4mh00049h
摘要
Copper nitride (Cu3N) thin films were grown by reactive sputtering using a high-throughput combinatorial approach with orthogonal gradients of substrate temperature and target–substrate distance.
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