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Raman spectroscopy analysis of magnetron sputtered RuO2 thin films

拉曼光谱分压分析化学（期刊）溅射沉积薄膜氧气基质（水族馆）溅射材料科学强度（物理）化学光学纳米技术海洋学物理地质学有机化学色谱法

作者

Lijian Meng

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2003-08-12 卷期号：442 (1-2): 93-97 被引量：34

标识

DOI：10.1016/s0040-6090(03)00953-2

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