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P-GaN Gate HEMTs: a Solution to Improve the High-Temperature Gate Lifetime

材料科学 光电子学 可靠性(半导体) 金属浇口 逻辑门 氮化镓 大气温度范围 肖特基势垒 肖特基二极管 和大门 栅氧化层 电子工程 电气工程 晶体管 纳米技术 工程类 二极管 电压 物理 功率(物理) 量子力学 图层(电子) 气象学
作者
Andrea Natale Tallarico,NULL AUTHOR_ID,Matteo Borga,NULL AUTHOR_ID,NULL AUTHOR_ID,Thibault Cosnier,Stefaan Decoutere,NULL AUTHOR_ID,NULL AUTHOR_ID
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:45 (9): 1630-1633
标识
DOI:10.1109/led.2024.3424563
摘要

In this letter, we report an approach to improve the forward bias gate reliability of Schottky gate p-GaN HEMTs. In particular, a gate layout solution, namely Gate Within Active Area (GWA), aimed at improving the high-temperature time to failure (TTF), is proposed and validated. This solution allows to avoid the exposure of the gate finger (p-GaN/metal) to the nitrogen-implantation needed for termination and isolation purposes. GWA devices feature a significantly improved gate reliability at high temperature with respect to the reference ones, under both DC and pulsed stress tests. Finally, it is demonstrated that the Schottky gate p-GaN HEMTs show a positive temperature-dependent gate TTF in a range up to 150 °C, confirming the crucial role of impact ionization on the gate failure.

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