Enhancing Se-based Selector-only Memory with Ultra-fast Write Speed (~ 10 ns) and Superior Retention Characteristics (> 10 years at RT) via Material Design and UV Treatment Engineering

计算机科学 保留时间 材料科学 随机存取存储器 光电子学 工艺工程 计算机硬件 化学 工程类 色谱法
作者
Jangseop Lee,Yoori Seo,Sanghyun Ban,Dongmin Kim,Seongjae Heo,Dae-Hwan Kang,Hyunsang Hwang
标识
DOI:10.1109/iedm45741.2023.10413815
摘要

We investigate the effect of material design and UV treatment on nanoscale (d = 50 nm) ovonic threshold switch (OTS) devices for selector-only memory (SOM) applications. By characterizing OTS devices with varying material compositions, we identified selenium (Se) as a key element for SOM operation. The optimized OTS device exhibited a large memory window (MW > 1.2 V) with an ultra-fast write operation speed (~ 10 ns). Additionally, we demonstrate that interface engineering with proper UV treatment significantly improved device variability characteristics. UV-treated OTS devices demonstrated excellent retention (> 10 years at RT) and cycling endurance properties (> 10 8 cycles). Analysis of Raman and XPS spectra revealed that SOM properties were determined by the bonding nature associated with the Se element.

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