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A novel atomic removal model for chemical mechanical polishing using developed mesoporous shell/core abrasives based on molecular dynamics

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作者
Zhensong Liu,Zhenyu Zhang,Junyuan Feng,Xian Yi,Chunjing Shi,Yang Gu,Feng Zhao,Shihao Liu,Jingru Li
出处
期刊：Nanoscale [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：16 (1): 85-96 被引量：2
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3nr04420c
摘要
Mesoporous shell/core silica abrasives were prepared, and a novel green CMP slurry was developed, including sorbitol, hydrogen peroxide and sodium carbonate.
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