Stitching interferometry for long X-ray mirrors with lateral multi-shift-based absolute calibration

光学 校准 干涉测量 菲索干涉仪 物理 图像拼接 像素 天文干涉仪 光圈(计算机存储器) 计量学 声学 量子力学
作者
Guang Zhou,Jiezhuo Wang,Weizheng Lei,Xiaohao Dong,Jie Wang
出处
期刊:Applied Optics [Optica Publishing Group]
卷期号:63 (8): 2086-2086
标识
DOI:10.1364/ao.516190
摘要

To eliminate the reference mirror (REF) error of the Fizeau interferometer for measuring X-ray mirrors, the reference calibration method of lateral multi-shift measurements at the hundreds-micrometer pixel level is presented. Because of the high aspect ratio of long X-ray mirrors, by shifting the surface under test (SUT) along the tangential direction with integer multiple pixels, we extend the calibration method by using the difference between multiple shifted measurements to build an augmented multi-matrix for extracting the two-dimensional (2D) absolute surface. The method can be applied to arbitrary measurement regions of the test optics, and the measurement for both the benchmark sub-aperture and calibration of the REF is accomplished in a single measuring process. Furthermore, by adjusting the shift to the millimeter scale, reference-subtracted sub-apertures can be stitched to obtain the absolute 2D map of the X-ray mirror. Experimental results show that all the 2D discrepancies reach sub-nanometer repeatability, and comparison results between the long trace profiler (LTP) and the proposed method have been performed. Therefore, the results demonstrated that the proposed method meets the requirements of X-ray mirror measurements.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
曲艺发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
古夕完成签到,获得积分10
2秒前
3秒前
4秒前
4秒前
6秒前
lm发布了新的文献求助10
6秒前
无所归兮应助曲艺采纳,获得10
7秒前
7秒前
yar应助alone采纳,获得30
8秒前
za==应助小赵采纳,获得10
8秒前
9秒前
豆芽发布了新的文献求助10
9秒前
oky发布了新的文献求助10
9秒前
wdy111应助迷路硬币采纳,获得20
11秒前
11秒前
12秒前
艺高人胆大鸡腿完成签到 ,获得积分10
15秒前
乐乐应助焦糖采纳,获得10
15秒前
科研通AI2S应助nalan采纳,获得10
16秒前
静_完成签到 ,获得积分10
16秒前
16秒前
雪白元蝶发布了新的文献求助10
17秒前
17秒前
17秒前
留白完成签到 ,获得积分10
18秒前
共享精神应助小圆采纳,获得10
18秒前
18秒前
慕青应助梵高的向日葵采纳,获得10
18秒前
SYLH应助科研通管家采纳,获得20
18秒前
czh应助科研通管家采纳,获得10
18秒前
18秒前
ding应助科研通管家采纳,获得10
18秒前
搜集达人应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
打打应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
19秒前
彭于彦祖应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
彭于彦祖应助科研通管家采纳,获得30
19秒前
雯雯完成签到,获得积分10
19秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Economic Geography and Public Policy 900
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3988786
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531116
关于积分的说明 11252493
捐赠科研通 3269766
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804771
邀请新用户注册赠送积分活动 881870
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809021