材料科学
原子层沉积
表征（材料科学）
图层（电子）
沉积（地质）
形态学（生物学）
纳米技术
化学工程
晶体生长
晶体结构
光电子学
结晶学
工程类
古生物学
沉积物
化学
生物
遗传学
作者
Xiangtai Liu,Shaoqing Wang,Lang He,Yifan Jia,Lu Qin,Haifeng Chen,Fei Ma,Yue Hao
摘要
The review summarizes the precursors, characterization techniques, factors moderating film growth, and the properties such as crystal structure, chemical composition, surface morphology, and optical properties of Ga 2 O 3 films fabricated by ALD.
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
爱静静
zzzyyy
乐乐乐乐乐乐
浅尝离白
8R60d8
shinysparrow
kento
愤怒的豆腐人
景辣条
寻道图强
竹筏过海
YifanWang
Ava
研友_ZAVbe8
鬼见愁
jyy
睡觉晒太阳
徐叽钰
不配.
mmyhn
皖公网安备34019202002308
