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Φ600 mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法

材料科学
作者
郑东晖 Zheng Dong-hui,陈磊 Chen Lei,马致遥 Ma Zhiyao,李金鹏 Li Jinpeng,胡晨辉 Hu Chenhui
出处
期刊：Guangxue xuebao [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2022-01-01 卷期号：42 (23): 2312005-2312005
标识
DOI：10.3788/aos202242.2312005
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