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Progress of Na-Flux Method for Large-Size GaN Single Crystal Growth

外延 氮化镓 微电子 材料科学 通量法 光电子学 晶体生长 焊剂(冶金) 半导体 Crystal(编程语言) 单晶 纳米技术 结晶学 化学 冶金 计算机科学 程序设计语言 图层(电子)
作者
Ronglin Pan,Mingbin Zhou,Zhihua Xiong,Wenxiao Wu,Lei Ao,Qi Li,Gen Luo
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
卷期号:51 (11): 6108-6120 被引量:9
标识
DOI:10.1007/s11664-022-09905-z
摘要

Gallium nitride (GaN) is an ideal semiconductor material for the development of microelectronic and optoelectronic devices. Homo-epitaxial growth on high-quality GaN single crystal substrates is the fundamental way to achieve high performance of GaN-based devices, and the Na-flux method is an effective way to grow large-size GaN single crystals by liquid phase epitaxy (LPE). In this paper, the growth of large-size GaN single crystals by the Na-flux method is systematically reviewed, and the main achievements are summarized. The development trend and main challenges of the Na-flux method for the growth of GaN single crystals are examined.
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