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Improved p-GaN/AlGaN/GaN HEMTs with magnetron sputtered AlN cap layer

图层（电子） 材料科学 光电子学 腔磁控管 高电子迁移率晶体管 宽禁带半导体 氮化镓 溅射 复合材料 晶体管 薄膜 电气工程 纳米技术 电压 工程类
作者
Mao Jia,Bin Hou,Ling Yang,Zhiqiang Xue,Qian Xiao,Meng Zhang,Hao Lu,Mei Wu,Xitong Hong,Jiale Du,Qingyuan Chang,Xiao Wang,Yang Li,Jin‐Ping Ao,Xiaohua Ma,Yue Hao
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2024-11-04 卷期号：682: 161699-161699 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161699
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