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The impact of silicon surface pretreatment on interface structure and passivation quality of AlOx films deposited by atomic layer deposition

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作者
Jiahui Xu,Wenjing Zhang,Yu-Xuan Li,Liu Cui,Geng Zhang,Zhen Shen,Pierre Verlinden,Xiao Yuan
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2025-04-21 卷期号：289: 113658-113658
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2025.113658
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