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Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducers with low-temperature direct wafer-Bonding technology

材料科学 薄脆饼 电容式微机械超声换能器 直接结合 晶片键合 光电子学 绝缘体上的硅 电容 电容感应 阳极连接 超声波传感器 制作 硅 图层（电子） 电子工程 复合材料 电气工程 声学 压电 病理 物理化学 工程类 化学 物理 替代医学 医学 电极
作者
Libo Zhao,Jie Li,Zhikang Li,Jiawang Zhang,Yihe Zhao,Jiuhong Wang,Yong Xia,Ping Li,Yulong Zhao,Zhuangde Jiang
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2017-07-25 卷期号：264: 63-75 被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.sna.2017.07.044
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