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Microstructure of hydrogenated silicon carbide thin films prepared by chemical vapour deposition techniques

材料科学化学气相沉积无定形固体微观结构分析化学（期刊）化学计量学红外光谱学薄膜氢碳化硅复合材料结晶学纳米技术化学物理化学有机化学色谱法

作者

Florian Köhler,Tao Chen,Maurice Nuys,Anna Heidt,M. Luysberg,F. Finger,R. Carius

出处

期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier]
日期：2012-01-05 卷期号：358 (17): 2011-2014 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2011.12.057

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