Effect of Al content on structure and properties of TiAlCN coatings prepared by magnetron sputtering

材料科学 涂层 溅射沉积 腔磁控管 溅射 冶金 摩擦学 降水 复合材料 薄膜 纳米技术 物理 气象学
作者
Xuhai Zhang,Yuedong Qiu,Zheng Tan,Jianliang Lin,Aiqun Xu,Yuqiao Zeng,John J. Moore,Jianqing Jiang
出处
期刊:Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
卷期号:617: 81-85 被引量:25
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2014.08.009
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