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Plasma ion-assisted deposition of TiO_2 and MgF_2 thin films

薄膜 沉积（地质） 材料科学 等离子体 离子 基质（水族馆） 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 化学 环境化学 生物 海洋学 物理 地质学 工程类 量子力学 古生物学 有机化学 沉积物
作者
Seouk Hoon Woo,Chang Kwon Hwangbo,Young Bae Son,Il Choon Moon,Geon Mo Kang
标识
DOI：10.1364/oic.2004.mb8
摘要
Optical and structural properties of TiO2 and MgF2 thin films deposited by plasma ion-assisted deposition were investigated and the effects of plasma ion-assistance and substrate heating were studied to deposit the stable TiO2/MgF2 multilayers.
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