Enhanced plasma etching using nonlinear parameter evolution

等离子体 等离子体刻蚀 蚀刻(微加工) 非线性系统 材料科学 纳米技术 物理 核物理学 量子力学 图层(电子)
作者
Arjun Moothedath,Zhong Ren
出处
期刊:Micro and nano engineering [Elsevier]
卷期号:: 100288-100288
标识
DOI:10.1016/j.mne.2024.100288
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
3秒前
小狗发布了新的文献求助10
5秒前
科研通AI2S应助Whitney采纳,获得10
5秒前
6秒前
相逢应助crde采纳,获得10
7秒前
Orange应助浦东江边种树人采纳,获得10
7秒前
7秒前
7秒前
chenzh86发布了新的文献求助10
9秒前
吴媛媛发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
10秒前
研友_VZG7GZ应助Auksiyu采纳,获得10
10秒前
11秒前
大雯仔发布了新的文献求助10
11秒前
效率完成签到,获得积分20
12秒前
大个应助美少女战士采纳,获得10
13秒前
14秒前
hujin发布了新的文献求助10
14秒前
欢儿发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
16秒前
yhxs发布了新的文献求助10
17秒前
qwe发布了新的文献求助10
17秒前
Yolo完成签到,获得积分10
18秒前
yaoyao发布了新的文献求助10
19秒前
TAC完成签到,获得积分10
19秒前
lujianqi发布了新的文献求助10
21秒前
欣慰听南发布了新的文献求助10
23秒前
AD发布了新的文献求助10
24秒前
25秒前
你不管嘛应助好好学习采纳,获得30
26秒前
26秒前
28秒前
28秒前
30秒前
852应助欢呼的铅笔采纳,获得10
30秒前
yxl完成签到,获得积分10
32秒前
越越发布了新的文献求助10
33秒前
高分求助中
Востребованный временем 2500
Classics in Total Synthesis IV: New Targets, Strategies, Methods 1000
Mantids of the euro-mediterranean area 600
The Oxford Handbook of Educational Psychology 600
Mantodea of the World: Species Catalog Andrew M 500
Insecta 2. Blattodea, Mantodea, Isoptera, Grylloblattodea, Phasmatodea, Dermaptera and Embioptera 500
Development and Industrialization of Stereoregular Polynorbornenes 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 内科学 物理 纳米技术 计算机科学 基因 遗传学 化学工程 复合材料 免疫学 物理化学 细胞生物学 催化作用 病理
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3421421
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3022195
关于积分的说明 8899538
捐赠科研通 2709460
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1485759
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 686900
邀请新用户注册赠送积分活动 681973