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Deposition and properties of sputtered phosphorus doped amorphous silicon films for passivating contacts

材料科学 兴奋剂 硅 沉积（地质） 非晶硅 无定形固体 光电子学 磷 冶金 晶体硅 化学 结晶学 地质学 沉积物 古生物学
作者
Jens Baumann,E. Schneiderlöchner,Jana‐Isabelle Polzin,Frank Feldmann,Martin Bivour,Martin Hermle
出处
期刊：Nucleation and Atmospheric Aerosols 日期：2023-01-01
标识
DOI：10.1063/5.0141222
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