Polymer-based semiconductor wafer cleaning: The roles of organic acid, processing solvent, and polymer hydrophobicity

聚合物 薄脆饼 材料科学 纳米颗粒 溶剂 化学工程 表面能 半导体 纳米技术 湿法清洗 有机化学 化学 复合材料 光电子学 工程类
作者
Seong Hoon Yu,Hayoung Jeon,Hyunki Ko,Hoon Ji,Soyeon Jeon,Mingyu Jae,Geon‐Hee Nam,Kyoungsuk Kim,Yeongjin Gil,Kuntack Lee,Dae Sung Chung
出处
期刊:Chemical Engineering Journal [Elsevier]
卷期号:470: 144102-144102 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.cej.2023.144102
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