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Lithography and Reactive Ion Etching in Microfabrication

微加工 抵抗 反应离子刻蚀 材料科学 微电子机械系统 平版印刷术 纳米技术 蚀刻（微加工） 等离子体刻蚀 薄脆饼 微系统 干法蚀刻 制作 光电子学 图层（电子） 医学 替代医学 病理
作者
Ivo W. Rangelow,P. Hudek
出处
期刊：Springer eBooks [Springer Nature]
日期：1995-01-01 卷期号：: 325-344 被引量：2
标识
DOI：10.1007/978-94-011-0423-4_30
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