Dose accuracy and doping uniformity of ion implantation equipment

兴奋剂 离子注入 离子 材料科学 光电子学 计算机科学 物理 量子力学
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier]
卷期号:21 (5): 765-766 被引量:2
标识
DOI:10.1016/0026-2714(81)90233-x
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