Al2O3-coated microcantilevers for detection of moisture at ppm level

水分 检出限 材料科学 复合材料 环境科学 化学 色谱法
作者
Xiaolei Shi,Qi Chen,Ji Fang,Koday Varahramyan,Hai‐Feng Ji
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier]
卷期号:129 (1): 241-245 被引量:20
标识
DOI:10.1016/j.snb.2007.08.019
摘要

We have demonstrated that the Al2O3-modified microcantilevers (MCLs) can be used to detect low level of moisture. The detection limit for moisture in nitrogen was 10 ppm. The MCLs’ response time to moisture was less than 3 min. The sensors were stable for months stored under ambient conditions. The bending amplitudes were proportional to the moisture level and temperature, and the detection of moisture was not affected by alcohols in the environment.
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