Characterisation of aluminium nitride films and surface acoustic wave devices for microfluidic applications

材料科学 声表面波 氮化铝 氮化物 氮化硅 机电耦合系数 光电子学 溅射 复合材料 薄膜 光学 图层(电子) 压电 纳米技术 物理
作者
Jinrun Zhou,M. DeMiguel-Ramos,Luis Garcia‐Gancedo,E. Iborra,J. Olivares,Hao Jin,Jikui Luo,A.S. Elhady,Shurong Dong,Diming Wang,Yongqing Fu
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier]
卷期号:202: 984-992 被引量:47
标识
DOI:10.1016/j.snb.2014.05.066
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