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作者
Yoshihiro Nomura,
Hisayuki Aoyama
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Nature]
日期：2007-02-24
卷期号：13 (8-10): 1347-1352
被引量：29
标识
DOI：10.1007/s00542-006-0360-3
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