Piezoresistance Coefficients of (100) Silicon nMOSFETs Measured at Low and High ($\sim$1.5 GPa) Channel Stress

材料科学 薄脆饼 压力(语言学) MOSFET 频道(广播) 弯曲 复合材料 电气工程 电子工程 光电子学 凝聚态物理 晶体管 电压 物理 工程类 哲学 语言学
作者
S. Suthram,John C. Ziegert,Toshikazu Nishida,Scott E. Thompson
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:28 (1): 58-61 被引量:88
标识
DOI:10.1109/led.2006.887939
摘要

A flexure-based four-point mechanical wafer bending setup is used to apply large uniaxial tensile stress (up to 1.2 GPa) on industrial nMOSFETs with 0 to ~700 MPa of process-induced stress. This provides the highest uniaxial channel stress to date at ~1.5 GPa. The stress altered drain-current is measured for long and short (50-140 nm) devices and the extracted pi-coefficients are observed to be approximately constant for stresses up to ~1.5 GPa. For short devices, this trend is seen only after correcting for the significant degradation in the pi-coefficients observed due to parasitic source/drain series resistances (R s d/)
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