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Atomic Layer Deposition of Copper Seed Layers from a (hfac)Cu(VTMOS) Precursor

铜原子层沉积材料科学图层（电子）沉积（地质）化学工程冶金纳米技术地质学沉积物工程类古生物学

作者

Dae-Yong Moon,Woong-Sung Kim,Tae-Sub Kim,Byung-Woo Kang,Jong-Wan Park,Seun Jin Yeom,Jae Hong Kim

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Nature]
日期：2009-03-14 卷期号：54 (3): 1330-1333 被引量：18

标识

DOI：10.3938/jkps.54.1330

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