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Optimizing Chemical Vapor Deposition Reactor Design and Thickness Uniformity for Ultra-Thick Epitaxy Technology

化学气相沉积 外延 材料科学 沉积（地质） 光电子学 反应堆设计 燃烧化学气相沉积 化学工程 纳米技术 薄膜 核工程 碳膜 图层（电子） 地质学 工程类 古生物学 沉积物
作者
Chenguang Sun,Wenjie Shen,Huayi Cai,Han Zhang,Lingfeng Zhu,Wenhao Zhang,X.-Y. Chang,Deqing Mei,Luxiao Xie
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-12-01 卷期号：: 113925-113925
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113925
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