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Effect of Al doping on structural and electrical properties of HfO2/ZrO2 layered structures for high-k applications
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作者
Yu-Rim Jeon,
Seungwon Lee,
Yoonchul Shin,
Jihwan Kim,
Chang Mo Yoon,
Ji‐Hoon Ahn
出处
期刊：
Journal of Alloys and Compounds
[Elsevier BV]
日期：2024-11-01
卷期号：: 177682-177682
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2024.177682
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