Atomistic Mechanisms of Sic Electrochemical Mechanical Polishing in Aqueous H2o2: Molecular Dynamics Simulations Using Reaxff Reactive Force Field

雷亚克夫 分子动力学 力场(虚构) 材料科学 电化学 水溶液 化学物理 抛光 动力学(音乐) 纳米技术 计算化学 化学 物理化学 复合材料 物理 原子间势 电极 量子力学 声学
作者
Rui Zhu,Feng Cheng,Qingyu Yao,Zixuan Sun,Yongguang Wang,Xiaolong Lu,Dongmei Huang,Yongwu Zhao
标识
DOI:10.2139/ssrn.4784033
摘要

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