EUV patterned gate variation reduction in next generation transistor architectures

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作者
Gopal S. Kenath,Martin Burkhardt,Nikhil Jain,Anna Lin,Jennifer Church,Gen Tsutsui,Stephanie Reynoso,Xuan Liu,C. Sheraw,P. Montanini,Eric R. Miller,Indira Seshadri,Luciana Meli,Nelson Felix
标识
DOI:10.1117/12.3012023
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