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Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement

栅栏 计量系统 准确度和精密度 计算机科学 光学 物理 天文 量子力学
作者
吕 强 LV Qiang,王玮 Wang Wei,刘兆武 LIU Zhao-wu,宋莹 Song Ying,姜珊 Jiang Shan,刘 林 LIU Lin,巴音贺希格 Bayanheshig,李文昊 Li Wenhao
出处
期刊：Chinese Optics [Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences]
日期：2020-01-01 卷期号：13 (1): 189-202 被引量：3
标识
DOI：10.3788/co.20201301.0189
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