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A review on actuation and sensing techniques for MEMS-based microgrippers

小型化 微电子机械系统 执行机构 电容感应 灵活性（工程） 压阻效应 精密工程 机械工程 材料科学 电气工程 计算机科学 电子工程 纳米技术 工程类 数学 统计
作者
Sijie Yang,Qingsong Xu
出处
期刊：Journal of micro-bio robotics [Springer Nature]
日期：2017-05-29 卷期号：13 (1-4): 1-14 被引量：127
标识
DOI：10.1007/s12213-017-0098-2
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