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Towards $5\mu \mathrm{m}$ interconnection pitch with Die-to-Wafer direct hybrid bonding
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作者
Emilie Bourjot,
C. Castan,
Noura Nadi,
Alice Bond,
N. Bresson,
Loïc Sanchez,
Frank Fournel,
Nicolas Raynaud,
Pascal Metzger,
S. Chéramy
链接
cea.hal.science
doi.org
标识
DOI：10.1109/ectc32696.2021.00085
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