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All-digital 3-dimensional profilometry of nano-scaled surfaces with spatial light modulators

轮廓仪计量学表面计量学干涉测量光学纳米计量学材料科学空间光调制器数字光处理相（物质）计算机科学物理表面光洁度量子力学复合材料投影机

作者

Valeria Rodríguez-Fajardo,Carmelo Rosales‐Guzmán,Othmane Mouane,Daniel Wamwangi,E. Sideras‐Haddad,Filippus S. Roux,Andrew Forbes

出处

期刊：Applied Physics B [Springer Nature]
日期：2021-10-04 卷期号：127 (11) 被引量：5

标识

DOI：10.1007/s00340-021-07691-w

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