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作者
Akihisa Kubota,
Takahiro Takita
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier]
日期：2018-06-18
卷期号：54: 269-275
被引量：24
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2018.06.003
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