Effect of a-C:H:Si interlayers on the mechanical and superlubricious properties of hydrogenated amorphous carbon films

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作者
Chenxi Zhang,Wenli Deng,Jianxun Xu,Qingyuan Yu,Yinhui Wang,Jisen Tian,Xuewu Li,Wei Qi,Xinchun Chen,Chenhui Zhang
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:753: 139275-139275 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2022.139275

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