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Properties of Porous Silicon Films Formed by Metal-Assisted Chemical Etching Using Various Oxidants

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作者
N. N. Melnik,В. В. Трегулов,G. N. Skoptsova,О. А. Милованова
出处
期刊：Bulletin of the Lebedev Physics Institute [Springer Nature]
日期：2021-12-01 卷期号：48 (12): 386-389
标识
DOI：10.3103/s1068335621120058
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