Deposition of nanostructured crystalline alumina thin film by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering

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作者
Guangxue Zhou,Langping Wang,Xiaofeng Wang,Yonghao Yu
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:455: 310-317 被引量:23
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2018.05.153

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