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Optimization of the process parameters for the AlN crystal growth in the PVT method through an improved numerical simulation considering partial pressure of gas phases

材料科学 过程（计算） Crystal（编程语言） 工艺工程 气体压力 机械 计算机科学 石油工程 物理 工程类 程序设计语言 操作系统
作者
Cheng Peng,Xiongliang Yao,Xinyang Miao,S. W. Chen,Qifang Lu,Xiujun Han,Dongyan Shi,Yingjuan Shao,Yongzhong Wu,Xiaojian Hao
出处
期刊：CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：26 (7): 965-976 被引量：1
标识
DOI：10.1039/d3ce01045g
摘要
A novel heat sink at the top of the crucible improves the seed surface growth uniformity by 89%.
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