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Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias

材料科学 工程物理 工程类
作者
Subir Ghosh,Yikai Zheng,Zhiyu Zhang,Yongwen Sun,Thomas F. Schranghamer,Najam U Sakib,Aaryan Oberoi,Guangming Chen,Joan M. Redwing,Yang Yang,Saptarshi Das
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2024-10-09
标识
DOI：10.1038/s41928-024-01251-8
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