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Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist

光刻胶材料科学锡激进的灵敏度（控制系统）氧气光化学纳米技术光电子学冶金电子工程有机化学化学工程类图层（电子）

作者

Hao Chen,Xinyan Huang,Yingdong Zhao,Jun Zhao,Pengzhong Chen,Xiaojun Peng

出处

期刊：Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2024-08-22 卷期号：67 (10): 3142-3150 被引量：11

标识

DOI：10.1007/s40843-024-3062-y

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