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Recent research progress of master mold manufacturing by nanoimprint technique for the novel microoptics devices

材料科学 纳米压印光刻 微透镜 纳米制造 纳米技术 计算机科学 制造工程 制作 工程类 镜头（地质） 医学 石油工程 病理 替代医学
作者
Yuhang Liu,Jianjun Lin,Zuohuan Hu,Guoli Gao,Bingyang Wang,Liuyi Wang,Zhiyuan Pan,Jianfei Jia,Qin-Wei Yin,Dengji Guo,Xujin Wang
出处
期刊：Frontiers of Materials Science [Springer Nature]
日期：2022-09-01 卷期号：16 (3) 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s11706-022-0596-6
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