Sub-50 nm UV-curing nanoimprint based on fluoropolymer, CYTOP, mold

模具 材料科学 含氟聚合物 纳米压印光刻 复合材料 固化(化学) 涂层 纳米结构 纳米技术 制作 聚合物 医学 病理 替代医学
作者
Jie Bian,Tao Yang,Changsheng Yuan,Haixiong Ge,Yan‐Feng Chen
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Nature]
卷期号:116 (1): 79-84 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s00339-013-8124-2

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