Ohmic Contact to P-Type GaN

欧姆接触 金属有机气相外延 退火(玻璃) 分析化学(期刊) 材料科学 二次离子质谱 接触电阻 二次离子质谱法 化学气相沉积 透射电子显微镜 金属 化学 离子 光电子学 冶金 纳米技术 外延 有机化学 图层(电子) 色谱法
作者
Doo‐Hyeb Youn,Maosheng Hao,Hisao Satô,Tomoya Sugahara,Yoshiki Naoi,Shiro Sakai
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:37 (4R): 1768-1768 被引量:31
标识
DOI:10.1143/jjap.37.1768
摘要

Investigations of the new metal scheme for ohmic contact to p-GaN have been carried out. The specific contact resistance was measured to be ρ c =3.6×10 -3 Ω cm 2 which is the lowest value ever reported for moderately doped p-GaN (4.4×10 17 /cm 3 ). All metals were deposited on metalorganic chemical vapour deposition (MOCVD) grown p-GaN. The interaction mechanism between Ni and p-GaN has been investigated. Zn diffusion has been observed during annealing in Au–Zn/Ni on p-GaN. The interfacial reaction mechanism during annealing has been studied by secondary ion mass spectroscopy (SIMS) measurement. From this measurement, it is observed that Ni dissociates at the p-GaN surface and this dissociation promotes the Zn diffusion upon heat treatment. The electrical properties were studied using current–voltage ( I – V ) measurements at room temperature. The microstructure between the Ni and p-GaN interface was investigated using high-resolution transmission electron microscopy (TEM) before and after the heat treatment.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
今后应助PSL采纳,获得10
刚刚
2秒前
钱宇成发布了新的文献求助10
2秒前
星辰大海应助吴所谓采纳,获得50
2秒前
科研通AI2S应助感动黄豆采纳,获得10
4秒前
qqq完成签到,获得积分10
4秒前
gewenxue发布了新的文献求助10
5秒前
7秒前
共享精神应助猪猪hero采纳,获得10
7秒前
8秒前
8秒前
Sunrise发布了新的文献求助10
9秒前
PSL完成签到,获得积分10
9秒前
9秒前
10秒前
11秒前
liuyf完成签到 ,获得积分10
11秒前
13秒前
13秒前
YJ888发布了新的文献求助10
13秒前
今后应助Lu采纳,获得10
13秒前
EED发布了新的文献求助10
13秒前
88C真是太神奇啦完成签到,获得积分10
14秒前
14秒前
Rondab应助shuyi采纳,获得30
15秒前
酷酷飞烟发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
在水一方应助故意的靳采纳,获得50
18秒前
20秒前
忧郁的鱿鱼完成签到,获得积分10
20秒前
JamesPei应助lm采纳,获得10
22秒前
xww完成签到,获得积分10
22秒前
隐形曼青应助忐忑的阑香采纳,获得10
23秒前
秋半梦发布了新的文献求助10
24秒前
slp完成签到,获得积分20
31秒前
秋半梦完成签到,获得积分10
34秒前
bububusbu完成签到,获得积分10
34秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
35秒前
我是老大应助TTm采纳,获得20
36秒前
科研通AI5应助Bressanone采纳,获得10
36秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989115
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531367
关于积分的说明 11253688
捐赠科研通 3269986
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804868
邀请新用户注册赠送积分活动 882078
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809105