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Design, modeling and FEM-based simulations of a 1-DoF MEMS bulk micromachined piezoresistive accelerometer

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作者
Ravindra Mukhiya,Gopal R,B. D. Pant,Vinay K. Khanna,T. Bhattacharyya
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2015-10-01 被引量：13
标识
DOI：10.1007/s00542-014-2361-y
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